而0.6纳米精度,则是这支笔的笔尖,本身是由几根更加纤细的、几乎达到原子尺度的狼毫组成的。
你必须拥有一根足够锐利的笔尖,才有可能去驾驭和书写出极细的笔锋。”
林燃直视梁孟松:“梁工程师,我想你应该想到了。”
此时的梁孟松已经两眼放光:“用这支8纳米的笔,我们确实没有办法画出5纳米的母版。
8纳米的极限,意味着我们无法稳定、大规模地制造出完美的5纳米结构。
良率会是一个灾难。
这可是一次性要画超过10的14次方个天线结构,这确实做不到。
但是我们可以用这支笔,去设计一套更聪明的笔法。
我们能用DUV光刻机通过多重曝光技术,造出远比它极限更低的电路尺寸。
同样的我们可以借鉴在晶圆制造上已经成熟的自对准四重曝光的思路,把它反过来,应用在母版制造上!
内容未完,下一页继续阅读