(我国首台6nm的电子束光刻机-羲之,来自HZ市政府官网,不知道为啥国内媒体没咋报道,完全没热度)

        “羲之和传统的光刻机不同。”杨院士接着说道:“它不需要掩膜版,而是通过计算机控制,用一道能量极高的、被聚焦到极致的电子束,直接在硅基材料上书写电路。

        因此,它可以随时修改设计,反复调试,特别适合芯片研发初期的验证,以及制造像超构透镜母版这样、独一无二的超高精度元件。”

        最后杨院士深吸了一口气,报出了那两个让所有人屏息的数字:“它的性能指标,最小稳定线宽为8纳米,电子束定位精度为0.6纳米。”

        “这不可能!定位精度0.6纳米?这精度是不是太夸张了?”

        “0.6纳米?比老美的精度还要更高?”

        “那岂不是意味着我们能造0.6纳米的透镜?卧槽,这回是光源跟不上镜头了。”

        杨院士的脸上是掩饰不住的自豪,这可是我们浙大搞的!

        “为了让大家理解,我继续用笔来做比喻。

        8纳米线宽,是羲之这支笔,在宣纸上能写出的稳定清晰的那个笔锋。

        内容未完,下一页继续阅读