无论是国产生产线,还是说用ASML的那些生产线,都能用到这个系统。”

        “最后一个,循环系统呢?”另一位李工问道。

        陈磊说:“这就是我认为最有价值,也最意想不到的部分:喷墨式精准涂胶系统。”

        他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置:“传统的DUV光刻,是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶,超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。

        而NIL为了精准压印,开发了类似喷墨打印的技术,需要哪里有图形,就在哪里喷涂一滴树脂,用量极省,而且均匀性可控。”

        他看向李工慢慢说道:“李工,想象一下,如果我们能把这套喷墨技术嫁接到我们的DUV产线上,用来喷涂我们自己的光刻胶。

        这意味着什么?光刻胶成本能骤降90%以上,边缘效应和甩胶不均的问题将成为历史。”

        华国人就是这样,在没有路的时候也要找到路,陷阱也要给你找出价值来。

        只是陈磊想不到的是,林燃压根想的不是拆解,而是在此基础上来重构整个光学系统。

        华盛顿特区,哈特参议院办公大楼,听证会室内,室内的空气因愤怒和焦虑而显得格外沉闷。

        商业、科学和交通委员会的所有参议员都已就座,他们身后,是挤得水泄不通的媒体记者和来自各大航空航天承包商的、西装革履的说客。

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