陈磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。”他指向图纸的底座部分。“NIL是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想象的还要苛刻。
佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。
我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。
如果我们能彻底摸清佳能这套系统的设计逻辑、控制算法和驱动方式，哪怕只是学到七成，我们的套刻精度指标至少能再提升50%。
这是我根据公开资料的猜测，具体多少，要等到我们把佳能的技术融入到我们的工艺之后才能有更进一步的具体判断。”
王工摩挲下巴：“如果真能这样，我们的良品率还能提高一大截。”
陈磊接着说道：“是的。
然后是神经系统，它的全流程缺陷检测与测量单元。
NIL的致命弱点是缺陷率，所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统，用来在压印前后快速扫描晶圆，定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。
王总，我们的产线现在主要依赖离线抽检，效率低，而且很多缺陷发现时已经晚了。
如果我们能把这套神经系统移植或复制过来，集成到现有工艺流程里，我们的良率又能爬上一个大台阶。
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