我把它总结为以下几点，首先是我认为最要命的，我称之为缺陷瀑布。”
这个词一出口，就引起了一阵小小的骚动。
中芯国际的代表梁孟松显然对缺陷这个词很敏感，他马上皱起了眉头。
陈磊伸出一根手指，语气变得无比严肃：“传统的光刻，无论是DUV还是EUV，都是非接触式的。
这点在座各位我相信都非常清楚。
光穿过掩膜版，投射在晶圆上。
即使掩膜版上有一个尘埃，经过光学系统的缩小，对单个芯片的影响也相对可控。
但NIL是接触式的，是物理压印！
这意味着，只要有一个纳米级的颗粒掉在模板上，或者在压印过程中产生，会发生什么？”
他停顿下来，让所有人有时间能思考这个问题。
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