如果没有蔡司不卖给ASML那套占其整机成本近40%的、由十几面完美反射镜组成的投影镜头系统,华国的EUV光刻机就算解决了99%的问题,它也没有办法上生产线。
而随着佳能的FPA-1200NZ2C,5纳米NIL光刻机已经在申海安装调试完毕后,林燃知道解决光刻机问题的时间点到了。
由华国官方组织,提前在申海微电子所安排好了人员和场地,包括佳能的NIL光刻机也放在申海微电子所。
该来的人都到齐后,林燃才进场。
“众所周知,我们离EUV光刻机最大的差距就在于镜片,这不是人力、时间和意志能够让我们在短时间内克服的。
误差在皮米级的镜片,而且是十多面,每一面之间还要有耦合关系,这是物理极限,是材料科学和精密加工的天堑,不是靠意志就能克服的。”
会议室里,一片死寂。
林燃的这番话,大家早就知道了,内部开会也好,向上汇报也好,都反应过无数遍,这就是我们面临最大的困难,只能慢慢靠时间磨出来。
靠量堆上去,堆出一个好的结果。
还需要你跑来说?
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