一直坐在后排的阿美莉卡顾问戴维森,此时抬起头,对陈磊露出了一个无可挑剔的微笑。

        下午,团队的材料学专家,在分析压印树脂的成分时,再次碰壁。

        “铃木先生,这种光敏树脂的化学成分和配比,是实现低缺陷率的关键。

        我们能否获取相关的技术资料?”

        铃木的回答几乎是复刻了上午的模式:“非常抱歉,博士。

        这种树脂是阿美莉卡陶氏化学的专利化合物,我们也是直接进口预封装好的原料盒。

        其配方属于阿美莉卡核心商业机密,不在本次技术转让的范围之内。”

        到了周末,当团队想要了解如何检测和分类纳米级的压印缺陷时,戴维森终于亲自出马了。

        他一边操作着那台昂贵的KLA检测设备,一边友好地解释道:“所以,你们看,通过我们的SpectraShape系统,可以清晰地识别出这些小于10纳米的缺陷点。

        当然,解读这些数据的算法模型,以及如何将其反馈到上游工序进行修正,都属于KLA的专利软件服务。

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