进入超净车间,那台FPA-1200NZ2C就静静地安放在那里。
它不像ASML的EUV光刻机那样如同一个巨大而笨重的怪兽,反而像一台充满未来感的医疗设备。
铃木的讲解堪称慷慨。
他详细展示了NIL设备的工作流程:
他展示了设备是如何像打印机一样,精准地将纳米级的树脂液滴喷涂在300mm的硅晶圆上,平整度误差控制在0.1纳米以内。
他们看到机械臂是如何以微米级的精度,将一块石英模板覆盖在晶圆上,并在真空环境下进行物理接触,将电路图案盖章上去。
整个压印过程在几秒钟内完成,通过紫外光照射,树脂迅速固化,电路图案被完美复刻。
一切看起来都那么简单、优雅、高效。
晚上回到酒店后,华国团队的一位相对年轻工程师激动地对陈磊说:“陈老师,这简直是降维打击!原理这么简单,成本这么低!如果能解决.”
陈磊没有说话,他的眉头越皱越紧,林总真的无所不能到,能够解决整个阿美莉卡半导体研发联盟加在一起都没有办法解决的问题吗?
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