纳瓦罗摆了摆手:“马斯克先生,我需要说,关于NIL我比你更清楚,它的全称叫纳米压印光刻技术。
总统先生,还有各位同僚,我是坚定的阿美莉卡人,请容许我详细向各位介绍,为什么我认为这项技术能够用来交易。
想象一下大家小时候玩的印章,把印章蘸上印泥,然后用力按在纸上,就在纸上留下了清晰的图案。
纳米压印光刻技术的原理与此极其相似,但其精细程度达到了纳米级别。
制作模板、涂覆抗蚀剂、压印然后是固化和脱模,整个过程像盖章一样,用一个1:1大小的、带有电路图案的模板,直接接触并按压在晶圆的树脂上,进行物理复制。
由于不需要高功率光源,其能耗相比EUV大幅降低,佳能自己声称可以减少90%。
而且结构要比传统的、ASML的光刻机简化得多,它的设备成本仅仅只是ASML光刻机的四分之一甚至更低。
同样,有优势就会有劣势。
首先它是5nm没错,但因为它是新生产物,目前根本就无法用于制造CPU、GPU这种结构最复杂、对缺陷率最敏感的逻辑芯片。
它现在只能被应用于3DNAND闪存芯片的制造。
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